功能:
主要用于样品表面的形貌分析、化学成分分析和晶体结构分析。SEM能够提供快速的样品表面图像,适合快速检测和初步结构观察。
特点:
操作简便,成像速度快,适合现场快速分析和样品制备要求不高的情况。
应用场景:
适用于快速检测样品表面特征,如粗糙度、污染物检测等。
透射电子显微镜(transmission electron microscope,TSE)是利用透射电子成像,因而要求样品极薄厚度不能超100nm。其结构包括三大部分:电子学系统、真空系统和电子光学系统。通过电子束扫描样品表面,收集散射电子(如二次电子、背散射电子)来成像。
